Number of the records: 1  

Skúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka

  1. Title statementSkúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka
    Main entry-name Svitač, Erik Z4 (Author) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Another responsib. Kósa, Arpád Z8 (Thesis advisor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Translated titleInvestigation of the Electrically Active Defects in the MOS Structure Based on Black Silicon
    Issue data2019
    FacultyFEI
    Date of acceptation11.06.2019
    Degreee discipline5.2.13. elektronika
    Degree programI-EN
    Phys.des.61 s., CD-ROM
    Subj. HeadingsDLTFS
    elektrochemické leptanie
    DLTS
    čierny kremík
    chemické leptanie
    DLTS
    DLTFS
    black silicon
    chemical etching
    electrochemical etching
    CountrySlovakia
    LanguageSlovak
    URLhttp://is.stuba.sk/zp/portal_zp.pl?podrobnosti=144607
    Document kindDDP - diplomová práca
    BarcodeCall number of locationCall numberLocationSublocationInfo
    284EP12171E*DIPL- 12171Fakulta elektrotechniky a informatikyÚstav elektroniky a fotonikyIn-Library Use Only