Number of the records: 1
Skúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka
Title statement Skúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka Main entry-name Svitač, Erik Z4 (Author) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Another responsib. Kósa, Arpád Z8 (Thesis advisor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Translated title Investigation of the Electrically Active Defects in the MOS Structure Based on Black Silicon Issue data 2019 Phys.des. 61 s., CD-ROM Subj. Headings DLTFS elektrochemické leptanie DLTS čierny kremík chemické leptanie DLTS DLTFS black silicon chemical etching electrochemical etching Country Slovakia Language Slovak Copy count 1, currently available 0, at library only 1 Document kind DDP - diplomová práca book
Number of the records: 1