Search results
- Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching / aut. Marián Marton, Mário Ritomský, Pavol Michniak, Miroslav Behúl, Vlastimil Řeháček, Robert Redhammer, Andrej Vincze, Martin Papula, Marian Vojs
Marton Marián ; 033000 Ritomský Mário Michniak Pavol ; 033000 Behúl Miroslav ; 033000 Řeháček Vlastimil ; 033000 Redhammer Robert Vincze Andrej Papula Martin Vojs Marian ; 033000
Vacuum . Vol. 170, (2019), Art. no. 108954 [6] s.
boron doped diamond plasma etching Self-masking nanostructured surface
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X18324588
článok zo zborníka
ADC - Scientific titles in foreign carented magazines and noticed year-books
V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu - Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma / aut. Marián Marton, Mário Ritomský, Vlastimil Řeháček, Pavol Michniak, Miroslav Behúl, Patrik Novák, Ľubomír Vančo, Marian Vojs
Marton Marián ; 033000 Ritomský Mário Řeháček Vlastimil ; 033000 Michniak Pavol ; 033000 Behúl Miroslav ; 033000 Novák Patrik ; 036000 Vančo Ľubomír ; 902640 Vojs Marian ; 033000
Journal of micromechanics and microengineering : . Vol. 29, No. 12 (2019), Art. no. 124004 [9] s.
boron doped diamond micro-patterning plasma etching
https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6439/ab4d6f
článok z periodika
ADC - Scientific titles in foreign carented magazines and noticed year-books
V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu - Mask-less nanostructuring of boron doped diamond films surface by etching in RF plasma / aut. Marián Marton, Mário Ritomský, Pavol Michniak, Miroslav Behúl, Vlastimil Řeháček, Robert Redhammer, Marian Vojs
Marton Marián ; 033000 Ritomský Mário Michniak Pavol ; 033000 Behúl Miroslav ; 033000 Řeháček Vlastimil ; 033000 Redhammer Robert ; 033000 Vojs Marian ; 033000
JVC-17 : . S. 151
článok zo zborníka
BFA - Abstrakty odborných prác zo zahraničných podujatí (konferencie...)
O2 - Odborný výstup publikačnej činnosti ako časť knižnej publikácie alebo zborníka - Plazmatické štruktúrovanie diamantových vrstiev pre senzorické aplikácie
Ritomský Mário ; 033000 Marton Marián ; 033000 (Thesis advisor)
2018
FEI ; 12.06.2018 ; 5.2.13. elektronika ; I-EN . - 66 s., CD-ROM
http://is.stuba.sk/zp/portal_zp.pl?podrobnosti=137501
diplomová prácaFaculty Available Inaccesible Issued For Request Only FEI 0 1 0 0 - Effect of mask material on the side walls angle of boron doped diamond patterns etched in various types of plasma / aut. Marián Marton
Marton Marián ; 033000 Ritomský Mário Řeháček Vlastimil ; 033000 Michniak Pavol ; 033000 Behúl Miroslav ; 033000 Redhammer Robert ; 003000 Vojs Marian ; 033000
MME 2018 : . S. 150-155
článok zo zborníka
AFD - Reports at home scientific conferences
V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka - Radiačná odolnosť polovodičových štruktúr pre fotovoltické aplikácie
Ritomský Mário ; 033000 Stuchlíková Ľubica ; 033000 (Thesis advisor)
2016
FEI ; 07.07.2016 ; 5.2.13. elektronika ; B-ELN . - 41 s., CD-ROM
http://is.stuba.sk/zp/portal_zp.pl?podrobnosti=106960
bakalárska prácaFaculty Available Inaccesible Issued For Request Only FEI 0 1 0 0