Počet záznamov: 1
PECVD silicon carbide thin films for harsh environment applications
CREPC201709 CREPC201710 CREPC201711 CREPC022018 CREPC201802 CREPC201803 CREPC201806 Údaje o názve PECVD silicon carbide thin films for harsh environment applications / aut. Jozef Huran, Pavol Boháček, Ladislav Hrubčín, Vlasta Sasinková, Angela Kleinová, Miroslav Mikolášek, Alexander P Kobzev, E Kováčová, J Arbet Záhlavie-meno Huran, Jozef (Autor) Ďal.zodpovednosť Boháček, Pavol (Autor) Hrubčín, Ladislav (Autor) Sasinková, Vlasta (Autor) Kleinová, Angela (Autor) Mikolášek, Miroslav, 1983- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Kobzev, Alexander P. (Autor) Kováčová, E. (Autor) Arbet, Juraj (Autor) In ADEPT 2017 [302 s.] / International conference on advances in electronic and photonic technologies. -- Žilina : University of Žilina, 2017. -- ISBN 978-80-554-1342-6. -- S. 215-218 Predmet.heslá SiC film PECVD structural and electrical properties harsh environment Jazyk dok. angličtina Druh dok. RZB - článok zo zborníka Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória od 2022 V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Rok 2017 
článok
Počet záznamov: 1