Počet záznamov: 1
X-Ray Metrology in Semiconductor Manufactoring
Údaje o názve X-Ray Metrology in Semiconductor Manufactoring Záhlavie-meno Bowen, D.Keitn (Autor) Ďal.zodpovednosť Tanner, Brian K (Autor) Vyd.údaje Boca Raton : CRC Press, 2006 Fyz.popis 279 s ISBN 0-8493-3928-6 Predmet.heslá röntgenová spektroskopia röntgenová fluorescenčná analýza náuka o materiáloch röntgenografia fyzika tuhých látok polovodiče integrované obvody polovodičové platne fluoroskopia MDT 539.26 543.422.8 548.73 620.179.152 Krajina Spojené štáty, Spojené štáty americké Jazyk dok. angličtina Druh dok. AMG - monografia 
kniha
Čiar.kód Lokačná signatúra Signatúra Lokácia Dislokácia Info 284EK86654 E*86654 Fakulta elektrotechniky a informatiky Katedra mikroelektroniky FEI nedostupný
Počet záznamov: 1