Počet záznamov: 1

Monitoring and control of plasma-enhanced processing of semiconductors

Údaje o názve	Monitoring and control of plasma-enhanced processing of semiconductors : Konf. Santa Clara, California, 1.- 2. November 1988 / Edit.: Griffiths,James E
Záhlavie-meno	Griffiths, James E (Zostavovateľ)
Vyd.údaje	Bellingham : SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1988
Fyz.popis	147 s
ISBN	0-8194-0072-6
Predmet.heslá	polovodiče
	polovodičové zariadenia
	Mikroelektronika
	plazmy
	obohatená plazma
	plazmové spracovanie
	iónové leptanie
	MBE
	tenké vrstvy
MDT	621.382.049.77
	538.9
	537.5
	061.3(08)
	621.315.592
Krajina	Spojené štáty, Spojené štáty americké
Jazyk dok.	angličtina
Druh dok.	AZN - zborník

kniha

citace PRO

Počet záznamov: 1