Počet záznamov: 1  

Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením

  1. Údaje o názveSuché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením : Kand.diz.práca : V.odb. 26-11-9 : Obh. 13.04.1994 / [aut.] Parízek,Jaroslav, Ing.; Škol. Harman,Rudolf
    Záhlavie-meno Parízek, Jaroslav (Autor)
    Ďal.zodpovednosť Harman, Rudolf (Školiteľ (konzultant))
    Vyd.údajeBratislava : STU v Bratislave FEI, 1993
    Fyz.popis137 s : lit.,príl + Autoref.1993, 19 s
    Predmet.heslá Mikroelektronika
    iónové leptanie
    laserové leptacie procesy
    Druh dok.DDZ - dizertačná práca
    kniha

    kniha

    Čiar.kódLokačná signatúraSignatúraLokáciaDislokáciaInfo
    284ED00609E*KDIZ-697Fakulta elektrotechniky a informatikyKnižnica FEI

Počet záznamov: 1