Počet záznamov: 1
Handbook of plasma processing technology
Údaje o názve Handbook of plasma processing technology : Fundamentals, etching, deposition and surface interactions / Edit.: Rossnagel,Stephen M. a i Záhlavie-meno Rossnagel, Stephen M (Zostavovateľ) Údaje o vydaní 1.vyd. Vyd.údaje Park Ridge : Noyes Publications, 1989 Fyz.popis 523 s ISBN 0-8155-1220-1 Predmet.heslá plazma fyzika polovodičov iónové leptanie fyzika povrchov Mikroelektronika MDT 533.9 538.9 621.315.592 621.382.049.77 Krajina Spojené štáty, Spojené štáty americké Jazyk dok. angličtina Druh dok. AMG - monografia kniha
Čiar.kód Lokačná signatúra Signatúra Lokácia Dislokácia Info E80526 E*80526 Fakulta elektrotechniky a informatiky Katedra mikroelektroniky FEI nedostupný
Počet záznamov: 1