Počet záznamov: 1  

Handbook of plasma processing technology

  1. Údaje o názveHandbook of plasma processing technology : Fundamentals, etching, deposition and surface interactions / Edit.: Rossnagel,Stephen M. a i
    Záhlavie-meno Rossnagel, Stephen M (Zostavovateľ)
    Údaje o vydaní1.vyd.
    Vyd.údajePark Ridge : Noyes Publications, 1989
    Fyz.popis523 s
    ISBN0-8155-1220-1
    Predmet.heslá plazma
    fyzika polovodičov
    iónové leptanie
    fyzika povrchov
    Mikroelektronika
    MDT533.9
    538.9
    621.315.592
    621.382.049.77
    KrajinaSpojené štáty, Spojené štáty americké
    Jazyk dok.angličtina
    Druh dok.AMG - monografia
    kniha

    kniha

    Čiar.kódLokačná signatúraSignatúraLokáciaDislokáciaInfo
    E80526E*80526Fakulta elektrotechniky a informatikyKatedra mikroelektroniky FEInedostupný

Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.