Počet záznamov: 1  

Skúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka

  1. Údaje o názveSkúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka
    Záhlavie-meno Svitač, Erik Z4 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Ďal.zodpovednosť Kósa, Arpád Z8 (Školiteľ (konzultant)) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Prekl.názInvestigation of the Electrically Active Defects in the MOS Structure Based on Black Silicon
    Vyd.údaje2019
    FakultaFEI
    Dátum obhajoby11.06.2019
    Študijný odbor5.2.13. elektronika
    Študijný programI-EN
    Fyz.popis61 s., CD-ROM
    Predmet.hesláDLTFS
    elektrochemické leptanie
    DLTS
    čierny kremík
    chemické leptanie
    DLTS
    DLTFS
    black silicon
    chemical etching
    electrochemical etching
    KrajinaSlovensko, Slovenská republika
    Jazyk dok.slovenčina
    URLhttp://is.stuba.sk/zp/portal_zp.pl?podrobnosti=144607
    Druh dok.DDP - diplomová práca
    Čiar.kódLokačná signatúraSignatúraLokáciaDislokáciaInfo
    284EP12171E*DIPL- 12171Fakulta elektrotechniky a informatikyÚstav elektroniky a fotonikylen prezenčne