Počet záznamov: 1
Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením
SYS stu6013 LBL 00000ntm--22000003a-4500 005 20160720091543.2 008 ------s1993----------------------------d 040 $a STU $b slo 100 1-
$a Parízek, Jaroslav $4 aut $7 stu_us_auth*stu5216 245 1-
$a Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením : $b Kand.diz.práca : V.odb. 26-11-9 : Obh. 13.04.1994 / $c [aut.] Parízek,Jaroslav, Ing.; Škol. Harman,Rudolf 260 $a Bratislava : $b STU v Bratislave FEI, $c 1993 300 $a 137 s : $b lit.,príl + $c Autoref.1993, 19 s 650 -7
$a Mikroelektronika $2 stusub $7 stu_us_auth*stus47572 650 -7
$a iónové leptanie $2 stusub $7 stu_us_auth*stus30 650 -7
$a laserové leptacie procesy $2 stusub $7 stu_us_auth*stus1607 700 1-
$a Harman, Rudolf $4 ths $7 stu_us_auth*stu2276
Počet záznamov: 1