Počet záznamov: 1
Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením
Údaje o názve Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením : Kand.diz.práca : V.odb. 26-11-9 : Obh. 13.04.1994 / [aut.] Parízek,Jaroslav, Ing.; Škol. Harman,Rudolf Záhlavie-meno Parízek, Jaroslav (Autor) Ďal.zodpovednosť Harman, Rudolf (Školiteľ (konzultant)) Vyd.údaje Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1993 Fyz.popis 137 s : lit.,príl + Autoref.1993, 19 s Predmet.heslá Mikroelektronika iónové leptanie laserové leptacie procesy Počet ex. 1, z toho voľných 1 Druh dok. DDZ - dizertačná práca kniha
Počet záznamov: 1