Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010
Haščík Štefan  Hotový Ivan (škol.) ; E030 Lalinský Tibor (škol.)
Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2009
FEI ; . - 107 s
Mikroelektronika laserové leptacie procesy elektronika plazmové leptanie suché leptanie senzory
dizertačná práca
DAI - Dizertačné a habilitačné práce