Výsledky vyhľadávania
- Growth of RuO2 Thin Films by Liquid Injection Atomic Layer Deposition
Hušeková Kristína Dobročka Edmund Rosová Andrea Šoltýs Ján Šatka Alexander ; E030 Fillot F. Fröhlich Karol
Thin Solid Films . Vol. 518 (2010), s.4701-4704
článok z periodika
ADC - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch
V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
článok
- High Growth Rate Deposition of Ruthenium Films by Liquid Injection ALD
Hušeková Kristína Fröhlich Karol Dobročka Edmund Šatka Alexander ; E030 Martaus Jozef Fillot F.
ALD 2008. Book of Abstracts : . s.P-41
článok zo zborníka
AFG - Abstrakty príspevkov zo zahraničných konferencií
V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníkačlánok