Výsledky vyhľadávania

  1. Application of polyimide films in microelectronics = Využitie polyimidových vrstiev v mikroelektronike : V. odb. 26-13-9. Obhajoba 21.11.2001
    Andok Robert  Csabay Otto (škol.) ; E210 Hudek Peter (škol.)
    Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2001
    FEI ; . - 133 s
    elektronika Mikroelektronika polovodičové štruktúry príprava tenkých vrstiev fyzika polovodičov polyimidy iónové leptanie
    dizertačná práca
    DAI - Dizertačné a habilitačné práce
    Fakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné
    FEI1000
    kniha

    kniha

  2. Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením : Kand.diz.práca : V.odb. 26-11-9 : Obh. 13.04.1994 / [aut.] Parízek,Jaroslav, Ing.; Škol. Harman,Rudolf
    Parízek Jaroslav  Harman Rudolf (škol.)
    Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1993 . - 137 s : lit.,príl + Autoref.1993, 19 s
    Mikroelektronika iónové leptanie laserové leptacie procesy
    dizertačná práca
    Fakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné
    FEI1000
    kniha

    kniha

  3. Process engineering analysis in semiconductor device fabrication / [aut.] Middleman,Stanley; Hochberg,Arthur K
    Middleman Stanley  Hochberg Arthur K
    1.vyd.
    New York : McGraw-Hill, 1993 . - 774 s
    ISBN 0-07-041853-5
    polovodiče polovodičové materiály fyzika tuhých látok mikrolitografia iónová implantácia plazmové leptanie iónové leptanie Pokovovanie
    monografia
    Fakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné
    FEI0100
    kniha

    kniha

  4. Handbook of plasma processing technology : Fundamentals, etching, deposition and surface interactions / Edit.: Rossnagel,Stephen M. a i
    Rossnagel Stephen M (zost.) 
    1.vyd.
    Park Ridge : Noyes Publications, 1989 . - 523 s
    ISBN 0-8155-1220-1
    plazma fyzika polovodičov iónové leptanie fyzika povrchov Mikroelektronika
    monografia
    Fakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné
    FEI0001
    kniha

    kniha

  5. Monitoring and control of plasma-enhanced processing of semiconductors : Konf. Santa Clara, California, 1.- 2. November 1988 / Edit.: Griffiths,James E
    Griffiths James E (zost.) 
    Bellingham : SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1988 . - 147 s
    ISBN 0-8194-0072-6
    polovodiče polovodičové zariadenia Mikroelektronika plazmy obohatená plazma plazmové spracovanie iónové leptanie MBE tenké vrstvy
    zborník
    kniha

    kniha