Výsledky vyhľadávania
- Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010
Haščík Štefan Hotový Ivan (škol.) ; E030 Lalinský Tibor (škol.)
Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2009
FEI ; . - 107 s
Mikroelektronika laserové leptacie procesy elektronika plazmové leptanie suché leptanie senzory
dizertačná práca
DAI - Dizertačné a habilitačné práceFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 1 0 0 0 
kniha
- Silicon micromachining / M. Elwenspoek and H.V. Jansen
Jansen Henri V. Elwenspoek Miko
Cambridge : Cambridge University Press, 1998 . - 405 s
ISBN 0-521-59054-X
mikrosystémy MST Kremík fyzika polovodičov plazmové leptanie mikroobrábanie mokré leptanie suché leptanie
učebnicaFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 0 0 0 1 kniha