Výsledky vyhľadávania

  1. Process engineering analysis in semiconductor device fabrication / [aut.] Middleman,Stanley; Hochberg,Arthur K
    Middleman Stanley  Hochberg Arthur K
    1.vyd.
    New York : McGraw-Hill, 1993 . - 774 s
    ISBN 0-07-041853-5
    polovodiče polovodičové materiály fyzika tuhých látok mikrolitografia iónová implantácia plazmové leptanie iónové leptanie Pokovovanie
    monografia
    Fakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné
    FEI0100
    kniha

    kniha

  2. Handbook of plasma processing technology : Fundamentals, etching, deposition and surface interactions / Edit.: Rossnagel,Stephen M. a i
    Rossnagel Stephen M (zost.) 
    1.vyd.
    Park Ridge : Noyes Publications, 1989 . - 523 s
    ISBN 0-8155-1220-1
    plazma fyzika polovodičov iónové leptanie fyzika povrchov Mikroelektronika
    monografia
    Fakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné
    FEI0001
    kniha

    kniha