Výsledky vyhľadávania
- Process engineering analysis in semiconductor device fabrication / [aut.] Middleman,Stanley; Hochberg,Arthur K
Middleman Stanley Hochberg Arthur K
1.vyd.
New York : McGraw-Hill, 1993 . - 774 s
ISBN 0-07-041853-5
polovodiče polovodičové materiály fyzika tuhých látok mikrolitografia iónová implantácia plazmové leptanie iónové leptanie Pokovovanie
monografiaFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 0 1 0 0 
kniha
- Handbook of plasma processing technology : Fundamentals, etching, deposition and surface interactions / Edit.: Rossnagel,Stephen M. a i
Rossnagel Stephen M (zost.)
1.vyd.
Park Ridge : Noyes Publications, 1989 . - 523 s
ISBN 0-8155-1220-1
plazma fyzika polovodičov iónové leptanie fyzika povrchov Mikroelektronika
monografiaFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 0 0 0 1 kniha