Výsledky vyhľadávania

  1. Monitoring and control of plasma-enhanced processing of semiconductors : Konf. Santa Clara, California, 1.- 2. November 1988 / Edit.: Griffiths,James E
    Griffiths James E (zost.) 
    Bellingham : SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1988 . - 147 s
    ISBN 0-8194-0072-6
    polovodiče polovodičové zariadenia Mikroelektronika plazmy obohatená plazma plazmové spracovanie iónové leptanie MBE tenké vrstvy
    zborník
    kniha

    kniha