PECVD silicon carbide thin films for harsh environment applications / aut. Jozef Huran, Pavol Boháček, Ladislav Hrubčín, Vlasta Sasinková, Angela Kleinová, Miroslav Mikolášek, Alexander P Kobzev, E Kováčová, J Arbet
Huran Jozef  Boháček Pavol Hrubčín Ladislav Sasinková Vlasta Kleinová Angela Mikolášek Miroslav ; 033000 Kobzev Alexander P. Kováčová E. Arbet Juraj
ADEPT 2017 : . S. 215-218
SiC film PECVD structural and electrical properties harsh environment
článok zo zborníka
AFD - Reports at home scientific conferences
V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka