Using Spreading Resistance Profiling and Simulations for Monitoring of Phosphorus Contamination in Ion Implantation of Arsenic
Kuruc Marián  Hulényi Ladislav ; E210 Kinder Rudolf ; E030
EDS´08. Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference 2008 : . s.103-108
článok zo zborníka
AFC - Reports at international scientific conferences
V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka