Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010
Haščík Štefan  Hotový Ivan (Thesis advisor) ; E030 Lalinský Tibor (Thesis advisor)
Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2009
FEI ; . - 107 s
Mikroelektronika laserové leptacie procesy elektronika plazmové leptanie suché leptanie senzory
dizertačná práca
DAI - Qualificational works (thesis, habilitation, atestation...)