The effect of process parameters and annealing on the properties of Ti/Pt films for miniature temperature sensors

Number of the records: 1

	CREPC201701 CREPC201702 CREPC201703 CREPC201706
Title statement	The effect of process parameters and annealing on the properties of Ti/Pt films for miniature temperature sensors / aut. Ivan Hotový, Štefan Haščík, Martin Predanocy, Miroslav Mikolášek, Vlastimil Řeháček, Ivan Kostič, Pavol Nemec, Anna Benčurová, Diana Rossberg, Lothar Spiess
Main entry-name	Hotový, Ivan, 1957- (Author) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
Another responsib.	Haščík, Štefan Z5 (Author)
	Predanocy, Martin, 1984- Z2 (Author) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Mikolášek, Miroslav, 1983- Z2 (Author) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Řeháček, Vlastimil, 1957- Z2 (Author) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Kostič, Ivan (Author)
	Nemec, Pavol (Author)
	Benčurová, Anna Z5 (Author)
	Rossberg, Diana (Author)
	Spiess, Lothar (Author)
In	ASDAM 2016 / International conference on advanced semiconductor devices and microsystems. -- Danvers : IEEE, 2016. -- ISBN 978-1-5090-3081-1. -- S. 85-88
Language	English
URL	http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?arnumber=7805901
Document kind	RZB - článok zo zborníka
Category	AFD - Reports at home scientific conferences
Category (from 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Year	2016

article

citace PRO

Number of the records: 1