Impact of Sputtering Power on Low Concentration Impurities in Binary Oxides : A ToF-ERDA Characterization Study

Number of the records: 1

Title statement	Impact of Sputtering Power on Low Concentration Impurities in Binary Oxides : A ToF-ERDA Characterization Study aut. Filip Ferenčík, Jozef Dobrovodský, Edmund Dobročka, Pavol Noga
Main entry-name	Ferenčík, Filip, 1996- (Author) - MTF Ústav výskumu progresívnych technológií
Another responsib.	Dobrovodský, Jozef, 1955- Z2 (Author) - MTF Ústav výskumu progresívnych technológií
	Dobročka, Edmund, 1955- Z5 (Author)
	Noga, Pavol, 1982- Z1 (Author) - MTF Ústav výskumu progresívnych technológií
In	Vacuum. -- ISSN 0042-207X. -- Vol. 240, (2025), s. 1-10
Language	English
URL	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X25004087?pes=vor&utm_source=scopus&getft_integrator=scopus
Document kind	RBX - článok z periodika
Category	ADC - Scientific titles in foreign carented magazines and noticed year-books
Category (from 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Type of document	článok
In databases
Year	2025

article

citace PRO

Number of the records: 1