Number of the records: 1
Effect of Isochronal Annealing on MOS Structure Parameters Irradiated by Ar, Bi and Kr Heavy Ions in View of CV Measurement
Title statement Effect of Isochronal Annealing on MOS Structure Parameters Irradiated by Ar, Bi and Kr Heavy Ions in View of CV Measurement Main entry-name Žiška, Milan, 1952- (Author) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Another responsib. Staňo, J. (Author) Skuratov, V.A. (Author) Translated title Vplyv teplotného žíhania na parametre MOS štruktúry ožiarenej ťažkými iónmi Ar, Bi a KR získané z CV merania In APCOM 2004. Applied Physics of Condensed Matter : Proceedings of the 10th International Workshop. Častá - Píla, Slovak Republic. 16.- 18. June 2004 /. -- 2004 : STU v Bratislave FEI, 2004. -- ISBN 80-227-2073-9. -- s.315-318 Language English Document kind RZB - článok zo zborníka Category AFD - Reports at home scientific conferences Category (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka article
Number of the records: 1