Number of the records: 1

Mikroštruktúra HfO2 a Hf1-xSixOy dielektrických tenkých vrstiev s vysokou permitivitou určených pre moderné CMOS štruktúry

Title statement	Mikroštruktúra HfO2 a Hf1-xSixOy dielektrických tenkých vrstiev s vysokou permitivitou určených pre moderné CMOS štruktúry
Main entry-name	Franta, Marek (Author)
Another responsib.	Harmatha, Ladislav, 1948- (Thesis advisor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Rosová, Alica (Thesis advisor)
Issue data	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2007
Faculty	FEI
Phys.des.	43 s
Subj. Headings	Mikroelektronika
	tenké vrstvy
	CMOS
Language	Slovak
Document kind	DDP - diplomová práca

book

citace PRO

Number of the records: 1