Number of the records: 1
Application of spreading resistence profiling for monitoring of semiconductor technological processes = Využitie metódy rozptylového odporu na monitorovanie technologických procesov polovodičovej výroby
Title statement Application of spreading resistence profiling for monitoring of semiconductor technological processes = Využitie metódy rozptylového odporu na monitorovanie technologických procesov polovodičovej výroby : Dát. obhaj. 25.02.2010, č. ved. odb. 26-13-9 Main entry-name Kuruc, Marián (Author) Another responsib. Hulényi, Ladislav, 1938- (Thesis advisor) - FEI Katedra mikroelektroniky Kinder, Rudolf (Thesis advisor) Issue data Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2009 Faculty FEI Phys.des. 120 s Subj. Headings elektronika rozptylový odpor technologické procesy monitorovanie procesov polovodiče Country Slovakia Language English Document kind DDZ - dizertačná práca Category DAI - Qualificational works (thesis, habilitation, atestation...) 
book
Barcode Call number of location Call number Location Sublocation Info 284ED01266 E*ZP-130 Fakulta elektrotechniky a informatiky Knižnica FEI
Number of the records: 1