Number of the records: 1
Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching
SYS 0077936 LBL 00000naa--22^^^^^-a-4500 003 SK-STU 005 20241104100522.9 007 ta 008 191126s^^^^-----------e------000-0-----d 024 7-
$2 SCOPUS $a 2-s2.0-85072529136 024 7-
$2 CC $a 000498325300002 024 7-
$2 DOI $a 10.1016/j.vacuum.2019.108954 035 $a biblio/154770 $2 CREPC2 040 $a STU $b slo 041 0-
$a eng 100 1-
$7 stu_us_auth*stu50362 $a Marton, Marián, $d 1980- $u 033000 $4 aut $9 39,8 $r Z2 $U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky $T FEI Ústav elektroniky a fotoniky $X 2980 $U E030 $Y 549 245 10
$a Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching / $c aut. Marián Marton, Mário Ritomský, Pavol Michniak, Miroslav Behúl, Vlastimil Řeháček, Robert Redhammer, Andrej Vincze, Martin Papula, Marian Vojs 650 04
$7 stu_us_auth*0005949 $a boron doped diamond 650 04
$7 stu_us_auth*0043567 $a plasma etching 650 04
$7 stu_us_auth*0043569 $a Self-masking 650 04
$7 stu_us_auth*0043570 $a nanostructured surface 700 1-
$7 stu_us_auth*0016260 $a Ritomský, Mário, $d 1993- $4 aut $9 10 $X 72653 700 1-
$7 stu_us_auth*stu81363 $a Michniak, Pavol, $d 1986- $u 033000 $r Z2 $4 aut $9 10 $U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky $T FEI Ústav elektroniky a fotoniky $X 35044 $U E030 $Y 549 700 1-
$7 stu_us_auth*stu127564 $a Behúl, Miroslav, $d 1989- $u 033000 $r Z2 $4 aut $9 10 $U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky $T FEI Ústav elektroniky a fotoniky $X 64202 $U E030 $Y 549 700 1-
$7 stu_us_auth*stu36850 $a Řeháček, Vlastimil, $d 1957- $u 033000 $r Z2 $4 aut $9 10 $U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky $T FEI Ústav elektroniky a fotoniky $X 4232 $U E030 $Y 549 700 1-
$7 stu_us_auth*stu7401 $a Redhammer, Robert, $d 1963- $4 aut $9 0,1 $X 1864 700 1-
$7 stu_us_auth*stu34909 $a Vincze, Andrej, $d 1975- $4 aut $9 10 $X 44262 700 1-
$7 stu_us_auth*0043568 $a Papula, Martin $4 aut $9 0,1 700 1-
$7 stu_us_auth*stu45741 $a Vojs, Marian, $d 1979- $u 033000 $r Z2 $4 aut $9 10 $U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky $T FEI Ústav elektroniky a fotoniky $X 2979 $U E030 $Y 549 773 0-
$w stu_us_cat*0076374 $t Vacuum $x 0042-207X $7 nnas $g Vol. 170, (2019), Art. no. 108954 [6] s. 856 4-
$u https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X18324588
Number of the records: 1