538.9. 621.382.049.77. 519.6 polovodičové štruktúry. fyzika polovodičov. MIS štruktúry. MOS štruktúry. kapacitné meracie metódyKinder, Rudolf, 1940- Simulácia, meranie a vyhodnocovanie koncentračných profilov prímesí v polovodičových štruktúrach : Habil.práca : Obh. 03.09.1996 / [aut.] Kinder,Rudolf, Ing.,CSc. -- Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1996. -- 118 s.