Direct deposition of CVD diamond layers on top of GaN membranes

Number of the records: 1

Údaje o názve	Direct deposition of CVD diamond layers on top of GaN membranes / aut. Tibor Izsák, Gabriel Vanko, Milan Držík, Stephan Kasemann, Johann Zehetner, Marian Vojs, Bohumír Zaťko, Štěpán Potocký, Alexander Kromka
Záhlavie-meno	Izsák, Tibor (Autor)
Ďal.zodpovednosť	Vanko, Gabriel Z5 (Autor)
	Držík, Milan, 1949- (Autor)
	Kasemann, Stephan (Autor)
	Zehetner, Johann (Autor)
	Vojs, Marian, 1979- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Zaťko, Bohumír (Autor)
	Potocký, Štěpán (Autor)
	Kromka, Alexander, 1971- (Autor)
In	4th International Conference nanoFIS 2020 - Functional Integrated nanoSystems / International Conference nanoFIS 2020 - Functional Integrated nanoSystems. -- Basel : MDPI, 2020. -- ISSN 2504-3900. -- Art. no. 35 [3] s.
Predmet.heslá	GaN
	MEMS
	CVD
	diamond
	intrinsic stress
Jazyk dok.	angličtina
URL	https://www.mdpi.com/2504-3900/56/1/35
Druh dok.	RZB - článok zo zborníka
Kategória	AFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách
Kategória od 2022	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
V databázach
Rok	2020

article

citace PRO

Number of the records: 1