Title information : Raman spectroscopy used to assess the temperature and mechanical stress in thin films of microelectronic structures / aut. Magdaléna Kadlečíková, Ľubomír Vančo, Juraj Breza, Juraj Priesol, Alexander Šatka Variant heading : \q12*stu_us_auth*1 stu57700 \q \q1013 stu_us_auth*stu57700 \d Kadlečíková Magdaléna \q ; 033000  %continue : \q12*stu_us_auth*1 stu109019 \q \q1013 stu_us_auth*stu109019 \d Vančo Ľubomír \q ; 902640 \q12*stu_us_auth*1 stu7682 \q \q1013 stu_us_auth*stu7682 \d Breza Juraj \q ; 033000 \q12*stu_us_auth*1 stu80446 \q \q1013 stu_us_auth*stu80446 \d Priesol Juraj \q ; 033000 \q12*stu_us_auth*1 stu9834 \q \q1013 stu_us_auth*stu9834 \d Šatka Alexander \q ; 033000 In : \q12**1 0027851 \q %continue : IMAPS flash conference 2017 [elektronický zdroj] : %continue : . USB, [2] s. Document kind : článok zo zborníka Category : AFC - Reports at international scientific conferences Category (from 2022) : V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka