Title information : Direct deposition of CVD diamond layers on top of GaN membranes / aut. Tibor Izsák, Gabriel Vanko, Milan Držík, Stephan Kasemann, Johann Zehetner, Marian Vojs, Bohumír Zaťko, Štěpán Potocký, Alexander Kromka Variant heading : \q12*stu_us_auth*1 0091784 \q \q1013 stu_us_auth*0091784 \d Izsák Tibor \q  %continue : \q12*stu_us_auth*1 stu65157 \q \q1013 stu_us_auth*stu65157 \d Vanko Gabriel \q \q12*stu_us_auth*1 stu58429 \q \q1013 stu_us_auth*stu58429 \d Držík Milan \q \q12*stu_us_auth*1 0090558 \q \q1013 stu_us_auth*0090558 \d Kasemann Stephan \q \q12*stu_us_auth*1 stu130451 \q \q1013 stu_us_auth*stu130451 \d Zehetner Johann \q \q12*stu_us_auth*1 stu45741 \q \q1013 stu_us_auth*stu45741 \d Vojs Marian \q ; 033000 \q12*stu_us_auth*1 stu58272 \q \q1013 stu_us_auth*stu58272 \d Zaťko Bohumír \q \q12*stu_us_auth*1 stu66171 \q \q1013 stu_us_auth*stu66171 \d Potocký Štěpán \q \q12*stu_us_auth*1 stu39752 \q \q1013 stu_us_auth*stu39752 \d Kromka Alexander \q In : \q12**1 0086922 \q %continue : 4th International Conference nanoFIS 2020 - Functional Integrated nanoSystems : %continue : . Art. no. 35 [3] s. Subject : \q12*stu_us_auth*1 stus18930 \q \q1013 stu_us_auth*stus18930 \d GaN \q \q12*stu_us_auth*1 stus10811 \q \q1013 stu_us_auth*stus10811 \d MEMS \q \q12*stu_us_auth*1 stus7986 \q \q1013 stu_us_auth*stus7986 \d CVD \q \q12*stu_us_auth*1 0092026 \q \q1013 stu_us_auth*0092026 \d diamond \q \q12*stu_us_auth*1 0092025 \q \q1013 stu_us_auth*0092025 \d intrinsic stress \q URL : https://www.mdpi.com/2504-3900/56/1/35 Document kind : článok zo zborníka Category : AFC - Reports at international scientific conferences Category (from 2022) : V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka