Search results
- Optimization of SiON/SiOx structures fabrication process for optical waveguides / aut. Ľuboš Podlucký, Marian Vojs, Jozef Chovanec, Vlastimil Řeháček, Jaroslav Kováč, František Uherek
Podlucký Ľuboš ; 033000 Vojs Marian ; 033000 Chovan Jozef Řeháček Vlastimil ; 033000 Kováč Jaroslav jr. ; 033000 Uherek František ; 033000
Radioelektronika 2020 : . S. 186-190
waveguide IMWP ICP/RIE PECVD silicon oxynitride
článok zo zborníka
AFD - Reports at home scientific conferences
V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
article
- Preparation of silicon photonics structures / aut. Ľuboš Podlucký, František Uherek, Jozef Chovan
Podlucký Ľuboš ; 033000 Uherek František ; 033000 Chovan Jozef
ELITECH´19 : . CD-ROM, [4] s.
waveguide ICP/RIE PECVD silicon oxynitride
článok zo zborníka
AFD - Reports at home scientific conferences
V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníkaarticle
- SiON/SiO structures for photonic devices / aut. Ľuboš Podlucký, Jozef Chovan, Daniel Figura, František Uherek, Marian Vojs
Podlucký Ľuboš ; 033000 Chovan Jozef Figura Daniel ; 033000 Uherek František ; 033000 Vojs Marian ; 033000
ADEPT 2019 : . S. 199-202
waveguide ICP/RIE PECVD silicon oxynitride
článok zo zborníka
AFD - Reports at home scientific conferences
V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníkaarticle