Počet záznamov: 1

Finite element analysis of AlGaN/GaN micro-diaphragms with diamond coating

Údaje o názve	Finite element analysis of AlGaN/GaN micro-diaphragms with diamond coating / aut. Jaroslav Dzuba, Gabriel Vanko, Marian Vojs, Ivan Rýger, Tibor Ižák, Vít Jirásek, Vladimír Kutiš, Tibor Lalinský
Záhlavie-meno	Dzuba, Jaroslav (Autor)
Ďal.zodpovednosť	Vanko, Gabriel Z5 (Autor)
	Vojs, Marian, 1979- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Rýger, Ivan Z5 (Autor)
	Ižák, Tibor, 1982- Z6 (Autor)
	Jirásek, Vít (Autor)
	Kutiš, Vladimír, 1975- Z1 (Autor) - FEI Ústav automobilovej mechatroniky
	Lalinský, Tibor Z5 (Autor)
In	Proceedings of SPIE. -- ISSN 0277-786X. -- Vol. 9517, (2015), Art.no. 95171 [7] p.
Predmet.heslá	MEMS
	FEM analysis
	AlGaN/GaN
	diaphragm
	diamond coating
Jazyk dok.	angličtina
URL	http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=2298991
Druh dok.	RBX - článok z periodika
Kategória	AFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách
Kategória od 2022	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
V databázach	WOS: 000357978500045
Rok	2015

článok

citace PRO

Počet záznamov: 1