Raman spectroscopy used to assess the temperature and mechanical stress in thin films of microelectronic structures

Počet záznamov: 1

	CREPC201711 CREPC022018 CREPC201802 CREPC201803 CREPC201806
Údaje o názve	Raman spectroscopy used to assess the temperature and mechanical stress in thin films of microelectronic structures / aut. Magdaléna Kadlečíková, Ľubomír Vančo, Juraj Breza, Juraj Priesol, Alexander Šatka
Záhlavie-meno	Kadlečíková, Magdaléna, 1956- (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
Ďal.zodpovednosť	Vančo, Ľubomír, 1983- Z2 (Autor) - Centrum STU pre nanodiagnostiku
	Breza, Juraj, 1951- Z1 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Priesol, Juraj, 1986- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Šatka, Alexander, 1960- Z1 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
In	IMAPS flash conference 2017 / International microelectronics assembly and packaging society. -- Brno : University of Technology, 2017. -- ISBN 978-80-214-5535-1. -- USB, [2] s.
Jazyk dok.	angličtina
Druh dok.	RZB - článok zo zborníka
Kategória	AFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách
Kategória od 2022	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Rok	2017

článok

citace PRO

Počet záznamov: 1