Počet záznamov: 1
Fabrication of boron doped diamond cantilevers by means of dry ICP etching
Údaje o názve Fabrication of boron doped diamond cantilevers by means of dry ICP etching / aut. Marian Vojs, Marián Marton, Marek Jančo, Miroslav Behúl, Vlastimil Řeháček, Pavol Michniak, Milan Držík, Robert Redhammer Záhlavie-meno Vojs, Marian, 1979- (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Ďal.zodpovednosť Marton, Marián, 1980- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Jančo, Marek, 1992- (Autor) Behúl, Miroslav, 1989- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Řeháček, Vlastimil, 1957- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Michniak, Pavol, 1986- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Držík, Milan, 1949- (Autor) Redhammer, Robert, 1963- Z7 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky In Journal of Physics: Conference Series / Micromechanics and Microsystems Europe Workshop (MME 2018). -- ISSN 1742-6588. -- Vol. 1319, Iss. 1 (2019), Art. no. 012015 [4] s. Jazyk dok. angličtina URL https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-6596/1319/1/012015/pdf Druh dok. RZB - článok zo zborníka Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória od 2022 V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka V databázach DOI: 10.1088/1742-6596/1319/1/012015
SCOPUS: 2-s2.0-85074891689Rok 2019 
článok
Počet záznamov: 1