Počet záznamov: 1
Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching
Údaje o názve Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching / aut. Marián Marton, Mário Ritomský, Pavol Michniak, Miroslav Behúl, Vlastimil Řeháček, Robert Redhammer, Andrej Vincze, Martin Papula, Marian Vojs Záhlavie-meno Marton, Marián, 1980- (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Ďal.zodpovednosť Ritomský, Mário, 1993- (Autor) Michniak, Pavol, 1986- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Behúl, Miroslav, 1989- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Řeháček, Vlastimil, 1957- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Redhammer, Robert, 1963- (Autor) Vincze, Andrej, 1975- (Autor) Papula, Martin (Autor) Vojs, Marian, 1979- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky In Vacuum. -- ISSN 0042-207X. -- Vol. 170, (2019), Art. no. 108954 [6] s. Predmet.heslá boron doped diamond plasma etching Self-masking nanostructured surface Jazyk dok. angličtina URL https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X18324588 Druh dok. RZB - článok zo zborníka Kategória ADC - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch Kategória od 2022 V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu V databázach CC: 000498325300002
DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.108954
SCOPUS: 2-s2.0-85072529136Rok 2019 článok
Počet záznamov: 1