Počet záznamov: 1  

Study of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching

  1. Údaje o názveStudy of self-masking nanostructuring of boron doped diamond films by RF plasma etching / aut. Marián Marton, Mário Ritomský, Pavol Michniak, Miroslav Behúl, Vlastimil Řeháček, Robert Redhammer, Andrej Vincze, Martin Papula, Marian Vojs
    Záhlavie-meno Marton, Marián, 1980- (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Ďal.zodpovednosť Ritomský, Mário, 1993- (Autor)
    Michniak, Pavol, 1986- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Behúl, Miroslav, 1989- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Řeháček, Vlastimil, 1957- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Redhammer, Robert, 1963- (Autor)
    Vincze, Andrej, 1975- (Autor)
    Papula, Martin (Autor)
    Vojs, Marian, 1979- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    In Vacuum. -- ISSN 0042-207X. -- Vol. 170, (2019), Art. no. 108954 [6] s.
    Predmet.heslá boron doped diamond
    plasma etching
    Self-masking
    nanostructured surface
    Jazyk dok.angličtina
    URLhttps://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X18324588
    Druh dok.RZB - článok zo zborníka
    KategóriaADC - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch
    Kategória od 2022V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
    V databázach CC: 000498325300002
    DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.108954
    SCOPUS: 2-s2.0-85072529136
    Rok2019
    článok

    článok

Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.