Počet záznamov: 1

Structural analysis of sputtered Sc(x)Al(1-x)N layers for sensor

Údaje o názve	Structural analysis of sputtered Sc(x)Al(1-x)N layers for sensor / aut. Bernd Hähnlein, Tim Hofmann, Katja Tonisch, Jörg Pezoldt, Jaroslav jr Kováč, Stefan Krischok
Záhlavie-meno	Hähnlein, Bernd (Autor)
Ďal.zodpovednosť	Hofmann, Tim Z6 (Autor)
	Tonisch, Katja Z6 (Autor)
	Pezoldt, Jörg Z6 (Autor)
	Kováč, Jaroslav jr. 1977- Z1 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Krischok, Stefan (Autor)
In	Materials Science and Smart Materials / International Conference on Material Science and Smart Materials (MSSM 2019). -- Baech : Trans Tech Publications, 2020. -- ISBN 978-303571577-4. -- S. 13-18
Predmet.heslá	scandium aluminum nitride
	XPS
	XRD
	FTIR
	Raman
	magnetoelectric sensor
Jazyk dok.	angličtina
Druh dok.	RZB - článok zo zborníka
Kategória	AFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách
Kategória od 2022	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
V databázach	DOI: 10.4028/www.scientific.net/KEM.865.13 SCOPUS: 2-s2.0-85093072755
Rok	2020

článok

citace PRO

Počet záznamov: 1