Exploring the impact of metal ion implantation on the surface evolution of TiN thin films

Počet záznamov: 1

Údaje o názve	Exploring the impact of metal ion implantation on the surface evolution of TiN thin films
Záhlavie-meno	Popovič, M. (Autor)
Ďal.zodpovednosť	Tošič, D. (Autor)
	Noga, Pavol, 1982- Z1 (Autor) - MTF Ústav výskumu progresívnych technológií
	Vaňa, Dušan, 1986- Z2 (Autor) - MTF Ústav výskumu progresívnych technológií
	Novakovič, M. (Autor)
In	Ceramics International. -- ISSN 0272-8842. -- in press, 30 May (2025), s. 12
Predmet.heslá	Metal ion implantation
	TiN thin films
	Surface morphology
Jazyk dok.	angličtina
URL	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0272884225025854
Druh dok.	RBX - článok z periodika
Kategória	ADC - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch
Kategória od 2022	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Typ výstupu	článok
V databázach
Rok	2025

článok

citace PRO

Počet záznamov: 1