Počet záznamov: 1  

Mikroštruktúra HfO2 a Hf1-xSixOy dielektrických tenkých vrstiev s vysokou permitivitou určených pre moderné CMOS štruktúry

  1. Údaje o názveMikroštruktúra HfO2 a Hf1-xSixOy dielektrických tenkých vrstiev s vysokou permitivitou určených pre moderné CMOS štruktúry
    Záhlavie-meno Franta, Marek (Autor)
    Ďal.zodpovednosť Harmatha, Ladislav, 1948- (Školiteľ (konzultant)) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
    Rosová, Alica (Školiteľ (konzultant))
    Vyd.údajeBratislava : STU v Bratislave FEI, 2007
    FakultaFEI
    Fyz.popis43 s
    Predmet.heslá Mikroelektronika
    tenké vrstvy
    CMOS
    Jazyk dok.slovenčina
    Druh dok.DDP - diplomová práca
    kniha

    kniha


Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.