Počet záznamov: 1
Monitoring of Phosphorus Cross-Contamination in Ion Implantation of Arsenic by Spreading Resistance Profiling and Simulations
Údaje o názve Monitoring of Phosphorus Cross-Contamination in Ion Implantation of Arsenic by Spreading Resistance Profiling and Simulations Záhlavie-meno Kuruc, Marián (Autor) Ďal.zodpovednosť Hulényi, Ladislav, 1938- (Autor) - FEI Katedra mikroelektroniky Kinder, Rudolf, 1940- (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky In ElectroScope [elektronický zdroj]. -- mimoriadne č. (konference EDS) (2008), s.http://147.228.94.30/index.php?option=com_content&task=view&id=154&Itemid=38 Jazyk dok. angličtina Druh dok. RBX - článok z periodika Kategória GHG - Práce zverejnené na internete Kategória od 2022 I3 - Iný výstup publikačnej činnosti z časopisu 
článok
Počet záznamov: 1