Počet záznamov: 1
Study of Effect of Phosphorous Cross-Contamination for Antimony Implantation on Electrical Properties of Semiconductor Devices
Údaje o názve Study of Effect of Phosphorous Cross-Contamination for Antimony Implantation on Electrical Properties of Semiconductor Devices Záhlavie-meno Kuruc, Marián (Autor) Ďal.zodpovednosť Hulényi, Ladislav, 1938- (Autor) - FEI Katedra mikroelektroniky Kinder, Rudolf, 1940- (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky Žiška, Milan, 1952- (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky In EDS´09. Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference 2009 : Brno, Czech Republic, 2.-3.9.2009. -- Brno : VUT v Brně, 2009. -- ISBN 978-80-214-3933-7. -- s.147-151 Jazyk dok. angličtina Druh dok. RZB - článok zo zborníka Kategória AFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách Kategória od 2022 V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Rok 2009 
článok
Počet záznamov: 1