Počet záznamov: 1
Application of spreading resistence profiling for monitoring of semiconductor technological processes = Využitie metódy rozptylového odporu na monitorovanie technologických procesov polovodičovej výroby
Údaje o názve Application of spreading resistence profiling for monitoring of semiconductor technological processes = Využitie metódy rozptylového odporu na monitorovanie technologických procesov polovodičovej výroby : Dát. obhaj. 25.02.2010, č. ved. odb. 26-13-9 Záhlavie-meno Kuruc, Marián (Autor) Ďal.zodpovednosť Hulényi, Ladislav, 1938- (Školiteľ (konzultant)) - FEI Katedra mikroelektroniky Kinder, Rudolf (Školiteľ (konzultant)) Vyd.údaje Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2009 Fakulta FEI Fyz.popis 120 s Predmet.heslá elektronika rozptylový odpor technologické procesy monitorovanie procesov polovodiče Krajina Slovensko, Slovenská republika Jazyk dok. angličtina Druh dok. DDZ - dizertačná práca Kategória DAI - Dizertačné a habilitačné práce kniha
Čiar.kód Lokačná signatúra Signatúra Lokácia Dislokácia Info 284ED01266 E*ZP-130 Fakulta elektrotechniky a informatiky Knižnica FEI
Počet záznamov: 1