Počet záznamov: 1  

Application of spreading resistence profiling for monitoring of semiconductor technological processes = Využitie metódy rozptylového odporu na monitorovanie technologických procesov polovodičovej výroby

  1. Údaje o názveApplication of spreading resistence profiling for monitoring of semiconductor technological processes = Využitie metódy rozptylového odporu na monitorovanie technologických procesov polovodičovej výroby : Dát. obhaj. 25.02.2010, č. ved. odb. 26-13-9
    Záhlavie-meno Kuruc, Marián (Autor)
    Ďal.zodpovednosť Hulényi, Ladislav, 1938- (Školiteľ (konzultant)) - FEI Katedra mikroelektroniky
    Kinder, Rudolf (Školiteľ (konzultant))
    Vyd.údajeBratislava : STU v Bratislave FEI, 2009
    FakultaFEI
    Fyz.popis120 s
    Predmet.heslá elektronika
    rozptylový odpor
    technologické procesy
    monitorovanie procesov
    polovodiče
    KrajinaSlovensko, Slovenská republika
    Jazyk dok.angličtina
    Druh dok.DDZ - dizertačná práca
    KategóriaDAI - Dizertačné a habilitačné práce
    kniha

    kniha

    Čiar.kódLokačná signatúraSignatúraLokáciaDislokáciaInfo
    284ED01266E*ZP-130Fakulta elektrotechniky a informatikyKnižnica FEI

Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.