Počet záznamov: 1
Monitoring and control of plasma-enhanced processing of semiconductors
Údaje o názve Monitoring and control of plasma-enhanced processing of semiconductors : Konf. Santa Clara, California, 1.- 2. November 1988 / Edit.: Griffiths,James E Záhlavie-meno Griffiths, James E (Zostavovateľ) Vyd.údaje Bellingham : SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1988 Fyz.popis 147 s ISBN 0-8194-0072-6 Predmet.heslá polovodiče polovodičové zariadenia Mikroelektronika plazmy obohatená plazma plazmové spracovanie iónové leptanie MBE tenké vrstvy MDT 621.382.049.77 538.9 537.5 061.3(08) 621.315.592 Krajina Spojené štáty, Spojené štáty americké Jazyk dok. angličtina Druh dok. AZN - zborník kniha
Počet záznamov: 1