Počet záznamov: 1
Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Vol. 1
Údaje o názve Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Vol. 1 : Microlithography Záhlavie-meno Rai-Choudhury, P. (Zostavovateľ) Vyd.údaje London : The Institution of Electrical Engineers, 1997 Bellingham : SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1997 Fyz.popis 768 s ISBN 0-8194-2378-5 Predmet.heslá mikrolitografia mikroobrábanie mikrovýroba nanotechnológie integrované obvody polovodičové zariadenia polovodičové súčiastky MDT 621.315.592 621.793/.795 621.382 Krajina uk ; Spojené štáty, Spojené štáty americké Jazyk dok. angličtina Druh dok. AUC - učebnica 
kniha
Čiar.kód Lokačná signatúra Signatúra Lokácia Dislokácia Info 284EK84918 E*84918 Fakulta elektrotechniky a informatiky Katedra mikroelektroniky FEI nedostupný
Počet záznamov: 1