Počet záznamov: 1
Process engineering analysis in semiconductor device fabrication
Údaje o názve Process engineering analysis in semiconductor device fabrication / [aut.] Middleman,Stanley; Hochberg,Arthur K Záhlavie-meno Middleman, Stanley (Autor) Ďal.zodpovednosť Hochberg, Arthur K (Autor) Údaje o vydaní 1.vyd. Vyd.údaje New York : McGraw-Hill, 1993 Fyz.popis 774 s ISBN 0-07-041853-5 Predmet.heslá polovodiče polovodičové materiály fyzika tuhých látok mikrolitografia iónová implantácia plazmové leptanie iónové leptanie Pokovovanie MDT 621.315.592 621.793/.795 669.018.5 621.382 538.9 Krajina Spojené štáty, Spojené štáty americké Jazyk dok. angličtina Druh dok. AMG - monografia 
kniha
Čiar.kód Lokačná signatúra Signatúra Lokácia Dislokácia Info 284EK07570 E*80987 Fakulta elektrotechniky a informatiky Študovňa FEI len prezenčne
Počet záznamov: 1