Počet záznamov: 1
SiO2 in Si Microdevices
Údaje o názve SiO2 in Si Microdevices Záhlavie-meno Itsumi, Manabu (Autor) Vyd.údaje Berlin : Springer Verlag ; Tokyo : Kodansha, 2002 Fyz.popis 322 s ISBN 3-540-43339-2 4-06-210667-1 Predmet.heslá integrované obvody polovodičové materiály polovodičové štruktúry Kremík MDT 621.382.049.77 621.315.592 538.9 Krajina Nemecko, Spolková republika Jazyk dok. angličtina Druh dok. AMG - monografia kniha
Čiar.kód Lokačná signatúra Signatúra Lokácia Dislokácia Info 284EK85731 E*85731 Fakulta elektrotechniky a informatiky Katedra mikroelektroniky FEI nedostupný
Počet záznamov: 1