Design, fabrication and characterization of SiOx/SiON/SiO2/Si structures for passive optical waveguides realization

Počet záznamov: 1

	CREPC022018 CREPC201802 CREPC201803 CREPC201806
Údaje o názve	Design, fabrication and characterization of SiOx/SiON/SiO2/Si structures for passive optical waveguides realization / aut. Jozef Chovan, Daniel Figura, Juraj Chlpík, Dušan Lorenc, Vlastimil Řeháček, František Uherek
Záhlavie-meno	Chovan, Jozef, 1974- (Autor)
Ďal.zodpovednosť	Figura, Daniel (Autor) Z9 - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Chlpík, Juraj, 1975- Z1 (Autor) - FEI Ústav jadrového a fyzikálneho inžinierstva
	Lorenc, Dušan (Autor)
	Řeháček, Vlastimil, 1957- Z2 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
	Uherek, František, 1954- Z1 (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
In	Photonics, Devices and Systems VII [342 s.] / International Conference on Photonics, Devices and Systems. -- Washington : SPIE, 2017. -- ISBN 978-1-510-61702-5. -- Art. no. 106030N [7] s.
Predmet.heslá	oxynitrides
	silicon
	waveguide
	integrated photonics
	spectroscopic ellipsometry
Jazyk dok.	angličtina
Druh dok.	RZB - článok zo zborníka
Kategória	AFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách
Kategória od 2022	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
V databázach
Rok	2017

článok

citace PRO

Počet záznamov: 1