Merač teploty v HF CVD reaktore s bezdrôtovým (optickým) prenosom informácie o teplote
Kolmačka Michal  Kadlečíková Magdaléna (škol.) ; E030 Kremničan V. (škol.)
Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2007
FEI ; . - 44 s príl.3 s.
Mikroelektronika elektronika reaktory meranie teploty
diplomová práca