621.382.049.7. 681.586 mikromechanické zariadenia. prevodníky. tlakové senzory. akcelerometre. gyroskopyBao, Min-Hang Micro mechanical transducers. Pressure sensors, accelerometers and gyroscopes. -- Amsterdam : Elsevier, 2000. -- 378 s. -- ISBN : 0-444-50558-X.