621.315.592. 621.793/.795. 669.018.5. 621.382. 538.9 polovodiče. polovodičové materiály. fyzika tuhých látok. mikrolitografia. iónová implantácia. plazmové leptanie. iónové leptanie. PokovovanieMiddleman, Stanley Process engineering analysis in semiconductor device fabrication / [aut.] Middleman,Stanley; Hochberg,Arthur K. -- 1.vyd. -- New York : McGraw-Hill, 1993. -- 774 s. -- ISBN : 0-07-041853-5. Hochberg, Arthur K